1、这技术经过特制的激发光源出现足够能量的光量子，让恶臭物质对光量子的强烈吸收，在足够携能光量子的轰击下让恶臭物质进行解离以及激发。

2、利用光量子分解空气中的氧分子出现游离氧，就是活性氧，由于游离氧所携正负电子不平衡因此需与氧分子结合，来得到臭氧。

3、臭氧在光量子的作用下能出现足够的新生态氢、活性氧以及羟基氧等活性基团，很多恶臭物质还可以与活性基团反应，之后变为CO2和H2O等无害物质，这能符合完全去除恶臭气体的目的。由于它的激发光源出现的光量子的平均能量在1eV~7eV，合理控制反应条件能进行通常情况中很难实现以及让速度很慢的化学反应变得快速，从而促进反应器的目的效率。

4、让收集系统把恶臭气体进入光量子净化设备，在此利用特制激发光源制造的光量子诱发一系列反映后，把恶臭物质分解变成CO2、H2O等无害成分，这设备已是一种功能不弱的绿色环保型空气净化设备。

  以上就是化工厂废气处理装置的一些原理。